![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Рассмотрен и решен ряд важных задач, позволивших усовершенствовать современные методы проекционной литографии. В частности, исследовано формирование оптического изображения с помощью нового типа фазово-растровых масок, а также их перестраиваемого аналога – пространственного модулятора света.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Автореферат | 2008-00-00-ryzhikova.pdf | 328,2 КБ | 2 ноября 2014 |