![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
В настоящее время большой интерес для современной микроэлектроники вызывает изучение воздействия ионов низких энергий на нанопористые low-k диэлектрики, применяемые в качестве межслойных изоляторов при производстве сверхбольших интегральных схем. Основной целью данной диссертационной работы является исследование особенностей физического распыления нанопористых материалов ионами инертных газов низких энергий и структурных изменений, происходящих в таких материалах под действием ионов. В работе с использованием метода классической молекулярной динамики исследовано влияние типа и энергии налетающих частиц и особенностей структуры нанопористых материалов (в первую очередь пористости и радиуса пор) на процесс физического распыления данных материалов. Показано, что в области низких энергий воздействие ионов на нанопористые структуры может сопровождаться не только их физическим распылением, но и образованием сплошного приповерхностного слоя, появление которого препятствует проникновению активных радикалов плазмы вглубь материала. Представленные результаты могут быть использованы для создания методов повышения стойкости нанопористых low-k диэлектриков к воздействию плазмы, что может оптимизировать технологию бездефектного воздействия на них плазмы при производстве интегральных схем.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Решение дисс.совета о приеме/отказе к защите | Protokol_No4.pdf | 665,4 КБ | 8 октября 2020 | |
2. | Сведения о научном руководителе | Svedeniya_o_nauchnom_rukovoditele_Syicheva_Istina.pdf | 494,1 КБ | 8 октября 2020 | |
3. | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | Svedeniya_ob_ofitsialnyih_opponentah_Syicheva_Istina_n.pdf | 442,1 КБ | 4 ноября 2020 | |
4. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_Amirov.pdf | 2,2 МБ | 12 ноября 2020 | |
5. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_Aleksandrov.pdf | 968,2 КБ | 12 ноября 2020 | |
6. | Отзыв официального оппонента | Otzyiv_Kochetov.pdf | 2,8 МБ | 12 ноября 2020 | |
7. | Отзыв научного руководителя/консультанта | Otzyiv_nauchnogo_rukovoditelya_Syicheva.pdf | 1,8 МБ | 8 октября 2020 | |
8. | Автореферат | Avtoreferat_Syicheva.pdf | 1,7 МБ | 8 октября 2020 | |
9. | Полный текст диссертации | Dissertatsiya_Syicheva.pdf | 6,0 МБ | 8 октября 2020 | |
10. | Заключение диссертационного совета по диссертации | Zaklyuchenie_DS_Syicheva.pdf | 116,7 КБ | 22 ноября 2020 |