|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроникидиссертация
- Автор: Руденко Константин Васильевич
- Дата защиты: 20 декабря 2007 года
- Шифр диссертационного совета: Д 002.204.01
- Организация: Физико-технологический институт РАН
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
- Тип диссертации: Докторская
- Добавил в систему: Руденко Константин Васильевич