ИСТИНА

Цель диссертации: разработка и использование комплекса методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик пленок на подложках и тонкопленочных мембран. Научная новизна: Разработан комплекс методик для определения кривизны и формы поверхности пластин и структур, в том числе по ее цифровой модели рельефа (ЦМР), позволяющий: формировать и анализировать ЦМР поверхности пластин на оптическом профилометре по разреженной сетке данных; определять одно значение кривизны для близких к сферической форме объектов; рассчитывать вторые частные производные; рассчитывать полную систему кривизн поверхности. Разработаны методики анализа рельефа тонкопленочных структур с использованием геоморфометрии, позволяющие выявлять основные морфологические особенности поверхности. Разработана оперативная неразрушающая методика анализа прогиба расположенных на пластине мембран. Методика позволяет определять прогиб каждой мембраны, проводить типизацию мембран, выводить наглядную карту данных (тип мембраны, величина прогиба, направление изгиба). Разработана методика определения механических характеристик тонкопленочных мембран посредством метода выдувания с учетом их начального прогиба. Методика позволяет: проводить контроль формы, площади, прогиба мембраны – как до проведения испытаний, так и в процессе реализации выдувания; минимизировать влияние крепления мембран при проведении испытаний; определять площадь поверхности мембраны и проводить расчет прогиба с учетом этой площади. Практическая значимость: Создан новый комплекс высокочувствительных методик бесконтактного анализа особенностей рельефа и формы поверхности, способный повысить результативность отработки технологий микро- и наноэлектроники, использоваться в решении задач оценки остаточного ресурса деталей. С использованием разработанных методик проведены обширные исследования пленок на подложках и тонкопленочных мембран, что необходимо для оценки их механических свойств и механических напряжений в них, определяющих надежность и стабильность работы устройств на их основе. Разработана оперативная неразрушающая методика анализа прогиба расположенных на пластине мембран, позволяющая локализовать области с максимальным выходом годных кристаллов и области брака по всей поверхности пластины, сократить время измерений.