ИСТИНА

Метод химического осаждения из силана успешно применен для получения пленок кремния с острой двуосной текстурой на металлических лентах-подложках, покрытых текстурированными оксидными буферными слоями. Предложены и реализованы новые архитектуры подложек для осаждения биаксиально-текстурированных пленок кремния: Y2O3/YSZ/MgO/текстурированный Ni-сплав, и Y2O3/YSZ/текстурированный MgO/аморфный Y2O3/сплав Hastelloy. Методами рентгеновской дифракции показано усиление текстуры кремния при увеличении толщины осаждаемой пленки, как для пленок кремния на монокристаллических подложках, так и на металлических лентах с оксидным буферным слоем. Установлено, что скорость роста пленки Si на металлических подложках с оксидным буферным слоем нелинейно зависит от парциального давления газа-прекурсора. Нелинейность процесса объяснена исходя из факта образования силицидов никеля в процессе осаждения.