Специальность:2.2.2 - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств
Тип диссертации:Кандидатская
Ведущая организация:
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН)
Организация, в которой выполнялась работа:
НИЦ "Курчатовский институт"