Вернуться к списку оборудования

Исследовательская установка для нанесения ЛЦУ пленок и различных гетероструктур (1 шт.)

Входит в состав Оборудование для создания новых материалов
Краткое название: ПР303_CDS2011
Тип: Другие типы оборудования (указать какие именно)
Подразделение: Физический факультет
Начало эксплуатации: 3 ноября 2011
Идентификатор: 10359384

Технические характеристики: 1. Вакуумная охлаждаемая камера из нержавеющей стали Технические характеристики: Объем 0,3 м3 В составе установки Окно вакуумной камеры расположенное на двери, с заслонкой, диаметром 4.5” 2 шт. В составе установки Порт ввода рабочего газа диаметром 16 мм. 1 шт. В составе установки Запасные порты диаметром 4”. 2 шт В составе установки Автоматический регулируемый затвор контроллер для автоматического поддержания давления в рабочей камере в диапазоне 1*10-4…1*10-1 Торр 1 шт. В составе установки Турбомолекулярный насос с возможностью работы с агрессивными газами производительностью 2000 л/сек. 2 шт. В составе установки Блок питания турбомолекулярного насоса 2 шт. В составе установки Безмасляный вакуумный пост с турбомолекулярным и полностью герметичным спиральным насосом для откачки загрузочной камеры производительностью 250 л/с. 2 шт. В составе установки Широкодиапазонный вакуумметр для рабочей камеры 1 шт. Диапазон 760 – 10-7 Торр В составе установки Планетарный механизм вращения с возможностью работы соединенным с корпусом и изолированным от корпуса камеры. Количество 1 шт. Диапазон скоростей вращения от 1 об/мин до 10 об/мин 2. Шлюзовая камера из нержавеющей стали технологические фланцы стандарта ISO-F Технические характеристики: В составе установки Шлюзовая камера из нержавеющей стали технологические фланцы стандарта ISO-F Объем 0,02 м3 В составе установки Дверца для загрузки образцов. Диаметр 150мм. В составе установки Порт откачки с вакуумным клапаном. Диаметр 100мм. В составе установки Порт датчиков вакуумметров. Диапазон давлений 760 – 10-7 Торр. В составе установки Порты ввода рабочего газа; Размер ДН-16. Клапан напуска атмосферы; Размер ДН-16. В составе установки Порт шлюза; Размер 150мм*80мм. В составе установки Нагреватель. Диаметр 100 мм. Температура прогрева 600 С 3. Система подачи газов. Газовые линии и регуляторы расхода газа с фильтрами и клапанами с максимальным расходом по следующим газам (5 комплектов) Технические характеристики: В составе установки Система подачи газов. Газовые линии и регуляторы расхода газа с фильтрами и клапанами с максимальным расходом по следующим газам (5 комплектов) Регуляторы расхода газа с погрешностью поддержания расхода газа 1,5 % Газовые линии с максимальным расходом H2 - 100 л/ч Газовые линии с максимальным расходом Ar - 10 л/ч Газовые линии с максимальным расходом N2 - 10 л/ч Газовые линии с максимальным расходом CH4 - 5 л/ч Газовые линии с максимальным расходом О2 - 10 л/ч 4. Водородный генератор. Содержит осушитель влаги на смолах. Технические характеристики: В составе установки Водородный генератор. Содержит осушитель влаги на смолах. 1 шт. Производительность 100 л/ч 5. Двойной редуктор. Технические характеристики: В составе установки Двойной редуктор. 5шт. Выходное давление 5 атм. 6. Компрессор. Технические характеристики: В составе установки. Компрессор 1 шт. Производительность 180 л/мин С регулируемым давлением 8 атм. 7. Источник ионов Источник ионов постоянного тока с «холодным катодом» с заслонкой. Технические характеристики: В составе установки. Источник ионов постоянного тока с «холодным катодом» с заслонкой 2 шт. Диаметр 100 мм Ток ионов регулируемый в диапазоне 10мА - 300 мА. Энергия ионов регулируемая в диапазоне 50в - 2 кВ В составе установки. Блок питания источника ионов 2 шт. 8. Импульсный катод. Охлаждаемый импульсный катод со сменными электродами с поджигом и блоком питания. Должен обеспечиваться двойной последовательный поджиг, счетчик импульсов с регулируемой частотой. Технические характеристики: В составе установки. Импульсный катод. Охлаждаемый импульсный катод со сменными электродами с поджигом и блоком питания. Обеспечивается двойной последовательный поджиг, счетчик импульсов с регулируемой частотой. 1 шт. Частота повторения импульсов в диапазоне 1-10 Гц. В составе установки. Блок питания импульсного катода 1 шт. Средней мощностью 5 кВт.
Расписание:

Понедельник с 10:00 до 14:00.
Вторник с 9:00 до 17:00.
Среда с 10:00 до 14:00.
Четверг с 10:00 до 14:00.
Пятница с 9:00 до 12:00.

Адрес:

119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 19, лаборатория №2.

Список ответственных за данное оборудование: Список зарегистрированных ответственных за оборудование комплекса: