Установка вакуумного термического напыления тонких пленок (производство «Дана Инжиниринг», Россия, 2022) Краткое название: Установка вакуумного термического напыления тонких пленок Тип: Комплексы научного оборудования / Другие комплексы научного оборудования Подразделение: Лаборатория новых материалов для солнечной энергетики Начало эксплуатации: 1 сентября 2022 Идентификатор: 498177917

---

Технические характеристики: • Объем вакуумной камеры – 300 литров; • Глубина вакуума - не менее 5*10-4 Па; • Максимальная температура напыления – 1500 оС; Материал испарительного тигля – вольфрам, корунд; • Скорость откачки высоковакуумного насоса – не менее 720 л/с; • Отклонение толщины напыления от средней величины толщины подложки - не более 5%; • Контроль толщины напыления - по кварцевым водоохлаждаемых измерителям толщины (КИТ) с пневмозаслонками. Расписание: Адрес: Ленинские горы, д. 1, стр. 3, к. 552

Список ответственных за данное оборудование:

• Научный руководитель, Гудилин Евгений Алексеевич,
• Ответственный за эксплуатацию, Тарасов Алексей Борисович,
• Ответственный за эксплуатацию, Гудилин Евгений Алексеевич,

В состав комплекса входит следующее оборудование:

Тип	Название
Другие типы оборудования (указать какие именно)	Установка вакуумного термического напыления тонких пленок

Научные работы: