![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
1. Устройство для нанесения на движущуюся ленту неорганических покрытий в вакууме методом химического осаждения, содержащее корпус реактора, в котором с возможностью перемещения установлена лента, средство нагрева ленты и средство для подачи паров наносимого материала, отличающееся тем, что средство нагрева установлено с одной стороны ленты и выполнено в виде лампы, обеспечивающей бесконтактный нагрев ленты, а средство для подачи паров установлено с противоположной стороны ленты и выполнено с возможностью подачи потока паров компонентов наносимого материала перпендикулярно поверхности ленты. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что лампа выполнена галогеновой.