ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Способ подачи газа в сверхзвуковое сопло ускорителя газовых кластерных ионов, включающий формирование газового кластерного ионного пучка в вакуумной камере при подаче рабочего газа под давлением от источника в сверхзвуковое сопло ускорителя газовых кластерных ионов, отличающийся тем, что формирование газового кластерного ионного пучка осуществляется путем импульсной подачи газа от источника, при значении давления стагнации, не превышающем 7 атм, и при длительности импульса тока кластерных ионов, на 1-2 порядка превышающей длительность подачи газа от источника.