|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Cantiliever with whisker-grown probe and method for producting thereofпатент
- Авторы: Givargizov E.I., Obolenskaya L.N., Stepanova A.N., Mashkova E.S., Givargizov M.E.
- Номер: US 6,458,206 B1
- Дата публикации патента: 1 октября 2002 г.
-
Реферат (описание изобретения):
AFM/STM probes are based on whiskers grown by the vapor-liquid-solid (VLS) mechanism. Silicon cantilevers oriented along the crystallographic plane (111) are prepared from silicon-on-insulator structures that contain a thin layer (111) on a (100) substrate with SiO2 interposed layer.
- Добавил в систему: Машкова Евгения Сергеевна