|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕпатент
- Авторы: Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Слепцов В.В., Степанчиков С.В.
- Номер: RU 2074904 C1
- Дата публикации патента: 10 марта 1997 г.
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич