![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Изобретение относится к области рентгеновской оптики и может быть использовано, например, в рентгеновской микроскопии, в системах проекционной рентгеновской литографии и т.п. При создании изобретения решалась задача получения изображений в мягком рентгеновском излучении с высоким пространственным разрешением. Техническим результатом изобретения является получение в рентгеновских лучах изображения тест-объекта, содержащего элементы размером менее 0,2 мкм. В соответствии с изобретением технический результат достигается тем, что в рентгеновском объективе, содержащем оправу с закрепленными в ней двумя зеркалами разного диаметра со сферической отражающей поверхностью, оправа выполнена с возможностью изменения положения зеркал относительно друг друга, до совмещения из центров кривизны, а задняя поверхность зеркала меньшего диаметра выполнена сферической. Технический результат достигается наиболее полно, если центры кривизны сферических поверхностей зеркала меньшего диаметра совпадают.