ИСТИНА

Настоящее изобретение относится к способу газофазного осаждения покрытий карбидов тантала на поверхности изделий и может быть использовано для создания защитных покрытий, c высокой твердостью, стойкостью к эрозии и абляции например, на изделиях из графита и углерод-углеродных композитах в камерах сгорания и соплах авиадвигателей, для создания износостойких твердых покрытий и покрытий c высокими антифрикционными свойствами, для покрытий, играющих роль диффузионного барьера для кислорода и других элементов в изделиях микроэлектроники, в таких, как электрод затвора в структурах оксид-металл-полупроводник n-типа, для покрытий, аккумулирующих солнечную энергию и перспективных для создания элементов солнечных батарей. Способ газофазного осаждения карбидов тантала включает подачу паров галогенида тантала и паров источника углерода и паров металла-восстановителя к поверхности изделия. В качестве восстановителя используют металл-восстановитель. Пары галогенида тантала, пары источника углерода и пары металла-восстановителя транспортируют в потоках инертных газов-носителей по различным каналам к поверхности изделия. Способ обеспечивает осаждение покрытий карбида тантала на поверхности изделий в безводородной атмосфере при относительно низких температурах осаждения (выше 840 К), при невысоких требованиях к сложности применяемого оборудования, хорошее качество покрытий и повышенную безопасность проведения процессов осаждения.