ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Предлагается в сенсоре, содержащем мембрану, сдвоенный микрокамертон, имеющий области крепления и соединенную с ними перемычками колеблющуюся область, выбирать расстояние между областями крепления больше суммарной длины колеблющейся области резонатора и длин перемычек, по крайней мере, на 6 ширин перемычек, а величину зазора между резонатором и мембраной выбирать в пределах от 1 до 5 толщин мембраны. При этом максимальный эффект достигается тогда, когда зазор обеспечивается выступами на мембране, имеющими форму цилиндрических секторов и расположенными на расстоянии 0,5-0,7 диаметра мембраны друг от друга