|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследование Волновых Эффектов в Высокочастотном Емкостном Источнике ПлазмыНИР
- Руководитель НИР: Двинин С.А.
- Участники НИР: Михеев В.В., Свиридкина В.С.
- Подразделение: Кафедра физической электроники
- Срок исполнения: 1 мая 2011 г. - 29 февраля 2012 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 97/11з
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Физика плазмы
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.27.43 Газовый разряд
- 29.27.51 Применение плазмы
-
Ключевые слова:
высокочастотный разряд, поверхностные волны, однородная плазма большого объема, плазменное травление
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович
Источник финансирования НИР
| Semes Inc, Cheonan, South Korea |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 1 мая 2011 г.-29 февраля 2012 г. | Исследование Волновых Эффектов в Высокочастотном Емкостном Источнике Плазмы |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".