|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Определение состава гетероэпитаксиальных структур на основе кубического нитрида бора и кремнияНИР
- Руководитель НИР: Форш П.А.
- Участники НИР: Жигунов Д.М.
- Подразделение: Кафедра общей физики и молекулярной электроники
- Срок исполнения: 10 июня 2015 г. - 9 октября 2015 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 70/15
- Тип: Разработка
- Приоритетное направление научных исследований: Физика конденсированных сред
- ПН России: Энергоэффективность, энергосбережение, ядерная энергетика
- Направление технологического прорыва России: Энергоэффективность и энергосбережение
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.19.04 Структура твердых тел
-
Ключевые слова:
гетероэпитаксиальные структуры, кубический нитрид бора
-
Описание:
Объектами исследования являются: гетероэпитаксиальные структуры на основе кубического нитрида бора и кремния в качестве подложки. Направления исследований: определение состава эпитаксиальных структур и исследование взаимосвязи параметров получения эпитаксиальных слоёв с упруго напряжённым состоянием методами рентгеноструктурного анализа.
- Добавил в систему: Жигунов Денис Михайлович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, ОАО "ОПТРОН" |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 10 июня 2015 г.-9 октября 2015 г. | Установление взаимосвязи между составом эпитаксиальных слоёв и технологическими режимами их получения |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".