ИСТИНА

Данный проект направлен на развитие методов детектирования нанодефектов на поверхности кремниевых пластин, как основанных на методике микроскопии второй оптической гармоники, так и на других нелинейно-оптических эффектах. Идея метода микроскопии второй гармоники состоит в использовании анизотропии ее генерации в кремнии, благодаря чему можно реализовать ситуацию, когда генерация второй гармоники от чистой поверхности кремния отсутствует и источниками нелинейно-оптического сигнала являются только дефекты на кремниевой поверхности. В процессе выполнения проекта будет развита существующая экспериментальная установка по микроскопии второй оптической гармоники, определены экспериментальные условия, при которых отношение нелинейно-оптического отклика от дефектов к отклику от чистой поверхности кремния максимально, и проведены эксперименты по определению местоположения кремниевых дефектов на тестовых образцах пластин. Также будут разработаны и протестированы альтернативные методы детектирования наноразмерных дефектов, в том числе из других материалов. Основным результатом проекта будет являться значение минимального размера дефекта, который может быть определен при помощи разрабатываемой технологии.

1. Экспериментальные условия, при которых отношение нелинейно-оптического отклика от дефектов к отклику от чистой поверхности кремния максимально. 2. Двумерные карты распределения интенсивности нелинейного отклика для образцов кремния с искусственно созданными дефектами, по которым можно определить положение дефектов. 3. Значения предельных размеров дефектов, при которых они еще могут быть разрешены методом микроскопии второй оптической гармоники. 4. Альтернативные нелинейно-оптические методики детектирования наноразмерных дефектов, в том числе из других материалов. 5. Результаты тестирования возможности детектирования некремниевых дефектов на кремниевой подложке. 6. Спектры оптического сигнала, полученного от дефектов и кремниевой подложки.