![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Объектом исследования являются структурные свойства тонких пленок и их лучевая прочность при воздействии мощного лазерного излучения. Целью данной НИР является оценка скорости распространения тепловых потоков в тонких пленках, исследование напряжений в тонких пленках, оценка наличия электронных состояний точечных дефектов, исследование влияния толщины и плотности пленок на их лучевую прочность.
В результате проделанной работы будут получены следующие результаты: - Оценена скорость распространения тепловых потоков в тонких пленках различной структуры. - Исследован характер и эволюции напряжений в тонких пленках различной структуры при воздействии мощного лазерного импульсного излучения. - Оценено наличие электронных состояний точечных дефектов в запрещенной зоне в аморфных тонких пленках тугоплавких окислов при различных условиях их напыления. - Исследовано влияние толщины и плотности тонких пленок, используемых для создания многослойных покрытий, на их индивидуальную лучевую прочность.
Хоздоговор, контракт с ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» |
# | Сроки | Название |
1 | 23 октября 2020 г.-30 ноября 2020 г. | Исследование влияния параметров напылительного процесса на структурные свойства тонких пленок и их лучевую прочность |
Результаты этапа: Проводимая научно-исследовательская работа (НИР) была направлена на исследование влияния параметров напылительного процесса на структурные свойства тонких пленок и их лучевую прочность для разрабатываемых оптических покрытий (ОП), предназначенных для оптических деталей и элементов, работающих в составе импульсных мощных лазерных установок наносекундного, пикосекундного и суб-пикосекундного диапазонов. В процессе работы проводились исследования по распространению тепловых потоков в пленке и подложке при различных длительностях лазерных импульсов. Изучались причины возникновения деформирующих напряжений. Проводилось численное моделирование образования объемных пор и структурных дефектов. Исследовалось изменение шероховатостей пленок в процессе их роста. Оценивалось наличие электронных состояний точечных дефектов в запрещенной зоне в пленках тугоплавких окислов. Проводилось исследование влияния толщины и плотности тонких пленок на их лучевую прочность. В результате исследования были получены оценки характерных времен распространения тепловых потоков в пленке и подложке при воздействии импульсного лазерного излучения и при воздействии непрерывного излучения. Оценены характеристики процесса испарения вещества пленки при воздействии пикосекундных и субпикосекундных лазерных импульсов. Было исследовано развитие деформирующих напряжений в тонких пленках вследствие воздействия лазерных импульсов длительностью менее пикосекунды. Кроме того, были проведены патентные исследования с использованием ресурсов баз данных Всемирной организации интеллектуальной собственности, Евразийской патентной организации, патентных ведомств России, США и др., а также с использованием публикаций в сети Интернет и научных электронных библиотек. Проанализирован мировой и отечественный опыт по разработке ОП. Проанализированы наиболее значимые технические решения, относящиеся к разработкам оптических покрытий для оптических деталей мощных лазерных установок, определены основные тенденции развития в данной области техники и технический уровень с оценкой применимости в разработке известных прогрессивных технических решений. |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".