|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследование влияния параметров напылительного процесса на структурные свойства тонких пленок и их лучевую прочностьНИР
Investigation of the influence of the parameters of the deposition process on the structural properties of thin films and their radiation resistance
- Руководитель НИР: Тихонравов А.В.
- Ответственные исполнители: Григорьев Ф.В., Сулимов В.Б.
- Участники НИР: Козлов И.В., Кокарев М.А., Кутов Д.К., Починок И.В., Серов В.А., Смирнова Е.Н., Сулимов А.В., Шарапова С.А., Швец П.А., Шоков В.Н.
- Подразделение: 4.14.Лаборатория вычислительного эксперимента и моделирования
- Срок исполнения: 23 октября 2020 г. - 30 ноября 2020 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 227/2906-Д
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Математическое моделирование, методы вычислительной и прикладной математики и их применение к фундаментальным исследованиям в различных областях знаний и в нанотехнологиях
- Приоритеты и перспективы НТР Российской Федерации согласно Стратегии НТР РФ: переход к передовым цифровым, интеллектуальным технологиям
- ПН России: Информационно-телекоммуникационные системы
- Направление технологического прорыва России: Стратегические информационные технологии
- Критическая технология России: Компьютерное моделирование наноматериалов, наноустройств и нанотехнологий
-
Рубрики ГРНТИ:
- 27.35.33 Математические модели электродинамики и оптики
- 29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
-
Ключевые слова:
оптический контроль, тонкие пленки, оптимизация структурных параметров
-
Описание:
Объектом исследования являются структурные свойства тонких пленок и их лучевая прочность при воздействии мощного лазерного излучения. Целью данной НИР является оценка скорости распространения тепловых потоков в тонких пленках, исследование напряжений в тонких пленках, оценка наличия электронных состояний точечных дефектов, исследование влияния толщины и плотности пленок на их лучевую прочность.
-
Планируемые результаты:
В результате проделанной работы будут получены следующие результаты: - Оценена скорость распространения тепловых потоков в тонких пленках различной структуры. - Исследован характер и эволюции напряжений в тонких пленках различной структуры при воздействии мощного лазерного импульсного излучения. - Оценено наличие электронных состояний точечных дефектов в запрещенной зоне в аморфных тонких пленках тугоплавких окислов при различных условиях их напыления. - Исследовано влияние толщины и плотности тонких пленок, используемых для создания многослойных покрытий, на их индивидуальную лучевую прочность.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, контракт с ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 23 октября 2020 г.-30 ноября 2020 г. | Исследование влияния параметров напылительного процесса на структурные свойства тонких пленок и их лучевую прочность |
| Результаты этапа: Проводимая научно-исследовательская работа (НИР) была направлена на исследование влияния параметров напылительного процесса на структурные свойства тонких пленок и их лучевую прочность для разрабатываемых оптических покрытий (ОП), предназначенных для оптических деталей и элементов, работающих в составе импульсных мощных лазерных установок наносекундного, пикосекундного и суб-пикосекундного диапазонов. В процессе работы проводились исследования по распространению тепловых потоков в пленке и подложке при различных длительностях лазерных импульсов. Изучались причины возникновения деформирующих напряжений. Проводилось численное моделирование образования объемных пор и структурных дефектов. Исследовалось изменение шероховатостей пленок в процессе их роста. Оценивалось наличие электронных состояний точечных дефектов в запрещенной зоне в пленках тугоплавких окислов. Проводилось исследование влияния толщины и плотности тонких пленок на их лучевую прочность. В результате исследования были получены оценки характерных времен распространения тепловых потоков в пленке и подложке при воздействии импульсного лазерного излучения и при воздействии непрерывного излучения. Оценены характеристики процесса испарения вещества пленки при воздействии пикосекундных и субпикосекундных лазерных импульсов. Было исследовано развитие деформирующих напряжений в тонких пленках вследствие воздействия лазерных импульсов длительностью менее пикосекунды. Кроме того, были проведены патентные исследования с использованием ресурсов баз данных Всемирной организации интеллектуальной собственности, Евразийской патентной организации, патентных ведомств России, США и др., а также с использованием публикаций в сети Интернет и научных электронных библиотек. Проанализирован мировой и отечественный опыт по разработке ОП. Проанализированы наиболее значимые технические решения, относящиеся к разработкам оптических покрытий для оптических деталей мощных лазерных установок, определены основные тенденции развития в данной области техники и технический уровень с оценкой применимости в разработке известных прогрессивных технических решений. | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".