![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Двухчастотные ВЧ плазменные реакторы на данный момент являются одним из наиболее используемых инструментов СБИС-технологий современной микроэлектроники уровня менее 32-45 нм. Ключевой их особенностью является возможность создания однородного потока ионов на поверхность обрабатываемого материала при независимом контроле величины потока и энергетического спектра ионов. Такой независимый контроль потоком и энергией ионов крайне важен для реализации прецизионного управления плазмохимическими процессами, особенно на атомарном уровне. Однако, диапазон разрядных условий, в котором независимый контроль потока и энергии ионов может быть достигнут, может быть ограничен так называемым «эффектом связывания ВЧ частот». Этот эффект является следствием того, что ионы, особенно лёгкие, способны реагировать на низкую ВЧ частоту в течение ВЧ периода, что приводит к пространственному и временному изменению параметров плазмы. Такую связь между откликом ионов на частоту ВЧ-смещения и параметрами плазмы называют динамическими эффектами ионов, которые непосредственно являются объектом исследования в рамках данного проекта. Динамические эффекты ионов предполагается исследовать методом пространственно- и фазово-разрешённой оптической эмиссионной спектроскопии (PROES) в двухчастотном емкостном ВЧ разряде в чистом Ar, а также в Ar с примесью Xe.
грант Президента РФ |
# | Сроки | Название |
1 | 6 мая 2022 г.-31 декабря 2022 г. | Исследование пространственно-временной структуры емкостного ВЧ разряда методом фазово-разрешённой оптической эмиссионной спектроскопии PROES. |
Результаты этапа: | ||
2 | 1 января 2023 г.-31 декабря 2023 г. | Исследование пространственно-временной структуры емкостного ВЧ разряда методом фазово-разрешённой оптической эмиссионной спектроскопии PROES. |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".