|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Выполнение работ по проведению испытаний на соответствие технологическим требованиям образца установки «Плазма ТМ 200-04»НИР
Conducting research during verification tests of Plasma TM 200-04 setup
- Руководитель НИР: Рахимов А.Т.
- Ответственный исполнитель: Лопаев Д.В.
- Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Зиганшин И.И., Кропоткин А.Н., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А., Шибанов Д.Р.
- Подразделение: Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
- Срок исполнения: 2 октября 2023 г. - 30 ноября 2023 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 23-3К-151/240-23
- Номер ЦИТИС: 123111000027-8
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Развитие информационных технологий и телекоммуникаций
- Приоритеты и перспективы НТР Российской Федерации согласно Стратегии НТР РФ: переход к передовым цифровым, интеллектуальным технологиям
- ПН России: Индустрия наносистем
- Критическая технология России: Технологии получения и обработки функциональных наноматериалов
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.27.51 Применение плазмы
- 29.27.43 Газовый разряд
-
Ключевые слова:
кремний, icp-реактор, атомно-слоевое травление
-
Научный задел:
В коллективе развиты и апробированы различные методы диагностики плазмы и процессов на поверхности с использованием имеющегося оборудования, которое позволило получить детальную информацию о параметрах плазмы, составе, потоках и энергии частиц, воздействующих на поверхность исследуемых пленок, и изменениях состава, структуры и толщины пленок, происходящих при таком воздействии. При этом обеспечивается точность анализа на уровне атомного слоя. Полная автоматизация системы управления реакторами и наличие in-situ эллипсометрии позволяет реализовать и изучать в режиме реального времени атомно-слоевое травление при вариации параметров циклических процессов.
- Добавил в систему: Поройков Александр Юрьевич
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Хоздоговор |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 2 октября 2023 г.-30 ноября 2023 г. | Выполнение работ по проведению испытаний на соответствие технологическим требованиям образца установки «Плазма ТМ 200-04» |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".