![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Разработка процессов атомнослоевого травления материалов SiO2, Si3N4, GaN, которые должны обеспечить высокую селективность травления, высокую точность стравливаемой толщины, заметное снижение апертурных эффектов при травлении и высокую однородность травления
Измерение скоростей распыления исследуемых материалов. Измерение параметров ALE оксида кремния в зависимости от энергии ионов, состава используемых газов, скорости прокачки газа, температурного режима стенок камеры и подложки, наличия дополнительных циклов и импульсной подачи реагентов. Измерение параметров ALE нитридов материалов группы А3В5 с учетом использования смесей газов, как на основе хлор- , так и фторсодержащих прекурсоров
Для реализации технологии ALE требуется тонкая настройка процесса - настройка подаваемой мощности, длительность подачи реагентов, скорости прокачки и других параметров. Таким образом, задача становится многопараметрической, так как для ее решения требуется провести комплексное исследование фундаментальных свойств плазмы с кинетикой процессов в модифицированном слое и анализом скорости травления непосредственно в каждом цикле. Для успешного решения данной задачи необходимо проведение фундаментальных и прикладных исследований, которые объединяют три главных направления: 1. диагностика плазмы и поверхности, 2. детальное моделирование процессов в плазме и 3. атомистическое моделирование поверхности.
Процесс атомно слоевого травления должен обеспечивать вариацию толщины стравленного слоя за цикл в пределах 0.3-1.5 нм с точностью и воспроизводимостью толщины и скорости травления 10-15%, как в рамках одного циклического процесса атомно слоевого травления, так и от пластины к пластине. Равномерность травления по пластине 200 мм – 5-10 % в зависимости от материала.
грант РНФ |
# | Сроки | Название |
1 | 18 декабря 2023 г.-30 сентября 2024 г. | Разработка процессов ALE |
Результаты этапа: | ||
2 | 1 октября 2024 г.-30 сентября 2025 г. | Разработка процессов ALE |
Результаты этапа: | ||
3 | 1 октября 2025 г.-31 декабря 2026 г. | Разработка процессов ALE |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".