Источник финансирования НИР
Хоздоговор, средства заказчика |
Этапы НИР
# |
Сроки |
Название |
1 |
1 июня 2010 г.-31 декабря 2010 г. |
Исследование и отработка режимов аморфизации кремния ионами кремния, исследование границ раздела кремний сапфир после ионной имплантации и рекристаллизационного отжига |
Результаты этапа: |
2 |
1 января 2011 г.-1 сентября 2011 г. |
Исследование и отработка режимов аморфизации кремния ионами кремния, исследование границ раздела кремний сапфир после ионной имплантации и рекристаллизационного отжига |
Результаты этапа: |
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...).
После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем
выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".