|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Исследование и отработка режимов аморфизации кремния ионами кремния, исследование границ раздела кремний сапфир после ионной имплантации и рекристаллизационного отжигаНИР
- Руководитель НИР: Черныш В.С.
- Участники НИР: Балакшин Ю.В., Ермаков Ю.А., Иешкин А.Е., Шемухин А.А.
- Подразделение: Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
- Срок исполнения: 1 июня 2010 г. - 1 сентября 2011 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 54-10
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Взаимодействие излучения с веществом
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
- 47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
- 47.33.31 Интегральные микросхемы
-
Ключевые слова:
аморфизация, ионно-пучковые методы анализа, дефектообразование под действием ионных пучков, рекристализация, ультратонкий кремний на сапфире, ионная имплантация
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, средства заказчика |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 1 июня 2010 г.-31 декабря 2010 г. | Исследование и отработка режимов аморфизации кремния ионами кремния, исследование границ раздела кремний сапфир после ионной имплантации и рекристаллизационного отжига |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 января 2011 г.-1 сентября 2011 г. | Исследование и отработка режимов аморфизации кремния ионами кремния, исследование границ раздела кремний сапфир после ионной имплантации и рекристаллизационного отжига |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".