1 |
20 апреля 2011 г.-31 августа 2011 г. |
Анализ информационных данных и выбор возможных, методов получения нанокомпозитных пленок аморфного кремния |
Результаты этапа: |
2 |
1 сентября 2011 г.-15 декабря 2011 г. |
Отработка экспериментальных методов получения нанокомпозитных пленок аморфного кремния |
Результаты этапа: |
3 |
1 января 2012 г.-31 августа 2012 г. |
Экспериментальные исследования процессов введения кремниевых нанокристаллов в аморфную матрицу и изучение структуры и физических свойств полученного материала |
Результаты этапа: |
4 |
1 сентября 2012 г.-15 декабря 2012 г. |
Определение технологических условий и получение экспериментальных образцов пленок нанокомпозитного материала на основе аморфного кремния, соответствующих техническим требованиям |
Результаты этапа: |