|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Разработка программ моделирования структуры магнитных полей в плазменной зоне для оптимизации конструкции плазменных источниковНИР
- Руководитель НИР: Двинин С.А.
- Участники НИР: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
- Подразделение: Физический факультет
- Срок исполнения: 20 сентября 2014 г. - 15 декабря 2014 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 198/14
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Физика плазмы
-
Рубрики ГРНТИ:
- 61.13.03 Теоретические вопросы
- 29.27.43 Газовый разряд
-
Ключевые слова:
ионно-стимулированное напыление, вакуумно-дуговое напыление, источники ионов, геликонный разряд, математическое моделирование разряда
-
Описание:
Цели работы: Разработка математической и расчетной моделей физических процессов в гибридной системе ионно-стимулированного нанесения функциональных наноструктур. Нахождение на основании математического моделирования связи между давлением рабочего газа, мощностью ВЧ генератора, величиной и конфигурацией внешнего магнитного поля, геометрическими размерами гибридной системы, концентрациями сти-мулирующих ионов и осаждаемых атомов в плоскости подложкодержателя. Разработка рекомендаций по оптимизации внешних параметров гибридной системы. Назначение работы: Оптимизировать конструкцию гибридной системы с маг-нитоактивированными плазменными источниками, геометрию вакуумной камеры и пара-метры магнитной системы макета установки ионно-стимулированного нанесения функциональных наноструктур для обеспечения высокой и равномерной концентрации стимулирующих ионов и осаждаемых атомов в плоскости подложкодержателя.
-
Основные результаты:
Разработаны программы математического моделирование геликонного источника плазмы в буферном газе (аргоне) и показано, что совместная работа нескольких источников плазмы позволяет увеличить степень ионизации металлической фазы в окрестности подложки (что обычно приводит к улучшению адгезии покрытия) и степень ее однородности, что повышает эффективность технологического процесса нанесения вакуумно-плазменных покрытий.
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, ФЦП "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014 - 2020 годы" |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 20 сентября 2014 г.-15 декабря 2014 г. | Разработка программ моделирования структуры магнитных полей в плазменной зоне для оптимизации конструкции плазменных источников |
| Результаты этапа: Разработаны программы математического моделирование геликонного источника плазмы в буферном газе (аргоне) и показано, что совместная работа нескольких источников плазмы позволяет увеличить степень ионизации металлической фазы в окрестности подложки (что обычно приводит к улучшению адгезии покрытия) и степень ее однородности, что повышает эффективность технологического процесса нанесения вакуумно-плазменных покрытий. | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".