| 1 |
24 ноября 2014 г.-31 декабря 2014 г. |
Выбор направления исследований |
| Результаты этапа: Объект исследований 1 этапа – кластерный ионный пучок, формирующийся в ускорителе и процесс планаризации различных материалов под его воздействием.
Целями 1 этапа ПНИ являлись выбор метода исследования результата процесса планаризации, исследование различных параметров ионного кластерного пучка и процесс планаризации поверхности различных материалов под его воздействием.
Для достижения поставленных целей решены следующие задачи: проведен анализ различных методов диагностики поверхности. Было продемонстрировано, что для исследования планаризированных поверхностей наиболее подходящим является метод атомно-силовой микроскопии. Были проведены исследования распределения по размеру кластеров в кластерном пучке. В результате были подобраны параметры ускорителя, обеспечивающие необходимое для экспериментальных исследований распределение. Было проведено исследование процесса планаризации различных материалов. Обнаружено, что результат планаризации зависит как от параметров ионного пучка, так и характеристик материала.
Кроме того, была разработана методика измерения коэффициента распыления при облучении кластерными ионами с помощью резерфордовского обратного рассеяния. Были проведены исследования коэффициента распыления для медных мишеней. А также была разработана методика анализа радиационных повреждений, возникающих при облучении кластерных ионов с помощью спектроскопии ионов средних энергий
|
| 2 |
1 января 2015 г.-30 июня 2015 г. |
Изготовление лабораторного стенда |
| Результаты этапа: |
| 3 |
1 июля 2015 г.-31 декабря 2015 г. |
Проведение экспериментальных исследований |
| Результаты этапа: |
| 4 |
1 января 2016 г.-30 июня 2016 г. |
Исследования экспериментальных образцов |
| Результаты этапа: |
| 5 |
1 июля 2016 г.-31 декабря 2016 г. |
Обобщение и оценка результатов исследований |
| Результаты этапа: |
