Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазмеНИР

Источник финансирования НИР

Международная организация/программа, Средства международных организаций

Этапы НИР

# Сроки Название
1 1 июня 2012 г.-31 декабря 2013 г. Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Результаты этапа:
2 1 января 2014 г.-31 декабря 2014 г. Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Результаты этапа: В ходе выполнения этапа были получены экспериментальные и теоретические результаты о повреждениях и модификации различных low-k пленок под воздействием атомов азота и фтора. Был изучен комбинированный эффект воздействия ВУФ фотонов и атомов фтора на повреждения и травление low-k пленок в температурном диапазоне от -50°C до +15°C. Полученное значение вероятности удаления Si-CH3 на один атом N оказалось довольно низким. Таким образом, повреждения пленок от атомов N малы, по сравнению с повреждениями от атомов O. Уменьшение Si-CH3 связей и дальнейшее травление пленки атомами F имеет энергию активации порядка 1500 ± 200 К. Увеличение числа дефектов на поверхности пленки при одновременном воздействии ВУФ фотонов и атомов F наблюдается только для пленок с наибольшей пористостью. Кинетическая модель на основе метода Монте-Карло была разработана для описания последовательного фторирования SiOCH пленок. Эти процессы включают удаление атомов H атомами F и добавление атомов F. Травление пленок усиливается вследствие проникновения атомов F в глубину пленки. Скорость травления увеличивается с ростом пористости и взаимосвязанности пор.
3 1 января 2015 г.-31 июля 2015 г. Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Результаты этапа:

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".