| 1 |
1 января 2013 г.-31 декабря 2013 г. |
Физические процессы в плазме магнетронного разряда с неоднородным катодом. |
| Результаты этапа: 1. Установлено, что в режиме высокой плотности мощности более 50 Вт/см^2 наблюдается сближение скоростей распыления меди и углерода.
2. Показано, что увеличение разрядной мощности ведёт к увеличению доли атомов меди в плазме. Связанное с этим увеличение доли имплантированных атомов меди во фрагментах мишени ограничивает рост скорости распыления медных фрагментов мишени и увеличивает рост скорости распыления графитовых.
3. Показано, что в этом режиме известная корреляция между распределением интенсивности свечения плазмы разряда и скоростью распыления нарушается. Это объясняется тем, что значительный вклад в интенсивность общего свечения плазмы дает свечение атомов меди, энергия возбуждения которых существенно ниже энергии возбуждения основного ионообразующего компонента — аргона. |
| 2 |
1 января 2014 г.-31 декабря 2014 г. |
Физические процессы в плазме магнетронного разряда с неоднородным катодом |
| Результаты этапа: 1. Установлено, что эффективный коэффициент распыления графитовых вставок в мозаичной мишени в несколько раз превышает табличные значения коэффициента распыления ионами аргона, в то время как эффективный коэффициент распыления меди оказывается меньше табличных значений
2. Обнаружено, что часть графита распыляется в виде кластеров. Это может способствовать превышению эффективного коэффициента распыления углеродных вставок над табличными значениями, которое наблюдается в эксперименте.
3. Установлено, что наблюдаемый с увеличением мощности разряда рост интенсивности свечения плазмы над поверхностью меди по сравнению с интенсивностью свечения над поверхностью углерода не свидетельствует об увеличении относительной скорости распыления медной матрицы по сравнению с углеродными вставками. Наоборот, увеличение доли атомов меди над медной поверхностью должно приводить к некоторому уменьшению эффективности её распыления.
4. В результате численного моделирования установлено, что разрядное напряжение почти полностью падает в приэлектродном слое, установлена взаимосвязь высоты наблюдаемого в эксперименте максимума свечения разряда с размерами приэлектродного слоя. |
| 3 |
1 января 2015 г.-31 декабря 2015 г. |
Физические процессы в плазме магнетронного разряда с неоднородным катодом. |
| Результаты этапа: На основе измерений электрических параметров магнетронного разряда, эффективных коэффициентов распыления компонентов мозаичных катодов, результатов спектральных исследований локального состава плазмы и проведенных расчетов процессов переноса в плазме и приэлектродном слое, построена физическая модель распыления неоднородных катодов в магнетронном разряде для разработки технологии магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий |
