|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
ПРИМЕНЕНИЕ ТЕРМИЧЕСКИХ ЗОНДОВ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ ПОДЛОЖКИ КРЕМНИЯ В СТАЦИОНАРНОМ РЕЖИМЕстатья Исследовательская статья
- Авторы: Митрофанов В.А., Прохорчук А.А.
- Журнал: Вестник Ярославского государственного университета им. П.Г. Демидова. Серия Естественные и технические науки
- Номер: 1
- Год издания: 2012
- Первая страница: 37
- Последняя страница: 46
- Аннотация: Решается краевая задача о распространении тепла в кремниевой пластинке (подложке для тонких плёнок) от стационарного плоского источника (резистивной дорожки) на её поверхности с нью тоновским условием теплоотдачи в поток охлаждающей жидкости. Определяется функциональная характеристика термических зондов, обсуждается их получение и градуировка. Экспериментально исследуется нагрев термо-зондов в зависимости от мощности источника тепла. Решается обратная задача по нахождению теплопроводности пластинки и коэффициента теплоотдачи в охлаждающую жидкость.
- Добавил в систему: Прохорчук Александр Андреевич