|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Наноструктурирование поверхности кристаллического кремния и германия в плазме искрового разрядатезисы доклада
- Авторы: Якунин В.Г., Преснов Д.Е., Степихова М.В., Яблонский А.Н., Савинов В.П., Тимошенко В.Ю.
- Сборник: IV Международная конференция "Лазерные, плазменные исследования и технологии" ЛаПлаз-2018: Сборник научных трудов
- Редакторы: Собенин Николай Павлович, Степаненко Александр Александрович
- Серия: Конференция ЛаПлаз
- Тезисы
- Год издания: 2018
- Издательство: НИЯУ МИФИ
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 274
- Последняя страница: 276
- Аннотация: Сборник научных трудов
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович