|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Formation of 3D islands of metal oxides on silicon covered by native oxide film by multi-step ion sputtering of Ti, Nb and Vстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 марта 2018 г.
- Авторы: Sushkova N.M., Akimov A.G.
- Журнал: Vacuum
- Том: 56
- Год издания: 2000
- Издательство: Elsevier Ltd
- Местоположение издательства: London
- Первая страница: 287
- Последняя страница: 291
- Добавил в систему: Сушкова Наталья Михайловна