Об образовании модифицирванного объмного слоя в кремнии при плазмохимическом травлении его фтор-радикаламистатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.