Аннотация:Разработана методика определения таких структурных характеристик тонких пленок как толщина и плотность методом ЛРСМА. Изучено влияние токопроводящего покрытия из вольфрама различной толщины на определение структурных характеристик пленок диоксида кремния. Проведено сравнение экспериментальных результатов с результатами моделирования методом Монте-Карло.