|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЛРСМА В ПРИСУТСТВИИ ТОКОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ВОЛЬФРАМАстатья
- Авторы: СОКОЛОВ С.А., СИДОРОВ Л.Н., КЕЛЬМ Е.А., МИЛОВАНОВ Р.А.
- Журнал: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения
- Том: 17
- Номер: 2
- Год издания: 2017
- Первая страница: 349
- Последняя страница: 353
- Аннотация: Разработана методика определения таких структурных характеристик тонких пленок как толщина и плотность методом ЛРСМА. Изучено влияние токопроводящего покрытия из вольфрама различной толщины на определение структурных характеристик пленок диоксида кремния. Проведено сравнение экспериментальных результатов с результатами моделирования методом Монте-Карло.
- Добавил в систему: Соколов Сергей Александрович