|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Laser optoacoustic nondestructive method of thickness measurement of subsurface damaged layer in machined silicon wafersстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 19 июля 2013 г.
- Авторы: Karabutov A.A., Podymova N.B.
- Журнал: Journal of Physics: Conference Series
- Том: 214
- Номер: 1
- Год издания: 2010
- Издательство: IOP Publishing
- Местоположение издательства: [Bristol, UK], England
- Первая страница: 012054
- DOI: 10.1088/1742-6596/214/1/012054
- Добавил в систему: Подымова Наталья Борисовна