Электрические свойства пленок a-Si:H(B), облученных мощными световыми импульсамистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Исследовано влияние мощного светового облучения на электрические свойства пленок a-Si:H. Установлено, что с ростом дозы облучения проводимость и фотопроводимость пленок увеличиваются, энергия активации уменьшается. При этом спектры комбинационного рассеяния не показали образования кристаллической фазы. Наблюдаемые изменения параметров связываются с локальными перестройками аморфной сетки, включающими водород и примесь, и приводящими к увеличению эффективности легирования.