Механический резонанс в кремниевом нанопроводе с высокой добротностьюстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 апреля 2019 г.
Аннотация:В работе экспериментально исследованы резонансные свойства наномеханических резонаторов на основе закрепленных с двух концов кремниевых нанопроводов, изготовленных из кремния на изоляторе и покрытых тонкой пленкой алюминия. С помощью магнитодвижущего метода определены резонансные частоты основной моды при температуре 20 мК для нанопроводов различных размеров. Измеренные значения резонансных частот согласуются с оценкам, сделанными на основе теории Эйлера-Бернулли. Измеренная внутренняя добротность резонатора длиной 5 мкм, 3.62•10^4, превосходит значения добротности аналогичных резонаторов, исследованных при более высоких температурах. Представленные структуры могут быть использованы в качестве датчиков массы с чувствительностью ~6•10^-20г/Гц^1/2. http://www.jetpletters.ac.ru/ps/2197/article_32938.shtml