|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Геликонный источник плазмытезисы доклада
- Авторы: Васильева А.Н., Ковалев А.С.
- Сборник: Труды Всесоюзной научно-технической конференции Микро и наноэлектроника -98Звенигород
- Тезисы
- Год издания: 1998
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 2
- Добавил в систему: Васильева Анна Николаевна