|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Study of the hysteresis of the RF inductive discharge plasma density dependence on the RF generator powerстатья
- Авторы: Alexandrov A.F., Vavilin K.V., Kerimova I.F., Kralkina E.A., Pavlov V.B., Rukhadze A.A., Savinov V.P.
- Сборник: Contr. Papers of V Intern. Conf. "Plasma Physics and Plasma Technology"
- Том: 1
- Год издания: 2006
- Место издания: Minsk
- Первая страница: 70
- Последняя страница: 73
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович