|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Electrophysical interaction of silicon wafers with glow discharge plasmasстатья
- Авторы: Alexandrov A.F., Riaby V.A., Savinov V.P., Yakunin V.G.
- Сборник: Contr. papers XI Intern. Conf. on Gas Discharges and Their Applications
- Том: 1
- Год издания: 1995
- Место издания: Tokyo, Japan
- Первая страница: 498
- Последняя страница: 502
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович