Полевой транзистор с каналом-нанопроводом – основа молекулярного биосенсорастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Разработан метод изготовления полевого транзистора с кремниевым каналом-нанопроводом для биосенсорных приложений (в качестве материала для формирования структуры устройства взят кремний-на-изоляторе (КНИ); в устройстве использованы металлические (Ti) электроды, образующие барьеры Шоттки областях контактов с кремниевым слоем истока и стока транзистора); разработан метод изоляции токоведущих частей транзистора при работе в жидкостной проводящей среде. Измерены вольт-амперные и сигнальные характеристики экспериментальных структур в буферных растворах со значениями рН от 5 до 8; оптимизированы параметры транзистора с целью достижения максимальной чувствительности к рН; дан анализ возможности использования полевого транзистора на основе кремниевого нанопровода в качестве сверхчувствительного биосенсора.