|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Comparison of a one-dimensional particle-in-cell-Monte Carlo model and a one-dimensional fluid model for a CH4/H-2 capacitively coupled radio frequency dischargeстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Ivanov V.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.Herrebout D, Bogaerts A.
- Журнал: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 91 Issue: 10 Pages: 6296-6302
- Том: 91
- Номер: 10
- Год издания: 2002
- Первая страница: 6296
- Последняя страница: 6302
- DOI: 10.1063/1.1461895
- Добавил в систему: Рахимов Александр Турсунович