|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Методика экспериментального рентгеновского фотоэлектронного определения состава нанокремния и композитных структур на его основестатья
- Авторы: Ищенко А.А., Попов А.П., Баграташвили В.Н., Лазов М.А., Рыбалтовский А.О., Алов Н.В., Ионов А.М.
- Сборник: Главный научный метрологический центр "СТАНДАРТИНФОРМ"
- Глава в коллективной монографии
- Год издания: 2015
- Место издания: Москва
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 32
- Аннотация: Приведено описание методики рентгеновского фотоэлектронного анализа нанокремния и композитных структур на его основе. Предложенная методика позволяет проводить качественное и количественное определение состава образцов нанокремния и композитных структур на его основе с использованием неразрушающего метода РФЭС. Описан процесс пробоподготовки анализируемого вещества, условия проведения съёмки спектров РФЭС, включая влияние используемой подложки на результаты измерений. Приведена методика очистки поверхности анализируемых образцов ионной бомбардировкой (Ar+). Разработан метод обработки полученных спектров при деконволюции пиков экспериментальных кривых интенсивности аналитического сигнала РФЭС. Возможности предлагаемой методики продемонстрированы при определениях качественного и количественного состава образцов, полученных различными методами синтеза, в жидком и твёрдом состояниях. Показана возможность одновременного определения всех валентных состояний кремния в образцах, полученных плазмохимическим, лазерно-химическим и химическим методами синтеза, позволяющими производить массовые количества наноматериала. Представлены метрологические характеристики разработанной методики. Область применения данной методики охватывает материаловедение, электронную технику, медицину; разработку и производство катализаторов, полупроводников, устройств микроэлектроники, тонкопленочных структур, полимерных нанокомпозитов, биометок для медицинской диагностики.
- Добавил в систему: Алов Николай Викторович