|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Синтез тонких пленок нитрида алюминиястатья
- Авторы: Жиляков Л.А., Кириллин А.В., Костановский А.В.
- Сборник: Препринт ИВТАН
- Серия: 8-345
- Год издания: 1999
- Первая страница: 23
- Последняя страница: 25
- Добавил в систему: Жиляков Лев Альбертович