|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Reverse Engineering of Fabricated Coatings Using Off-Line and On-Line Photometric Dataтезисы доклада
- Авторы: Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K., Kokarev M.A., Thony S.
- Сборник: Optical Interference Coatings, OSA Technical Digest (CD) (Optical Society of America, 2007)
- Тезисы
- Год издания: 2007
- Место издания: Tucson, AZ, Washington, DC
- Первая страница: WA3
- Аннотация: We propose an approach to the determination of thicknesses of individual coating layers from on-line monitoring data. We demonstrate an application of this approach to the analysis of the 52-layer filter.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович