ПРОЦЕСС ФИЛЬТРАЦИОННОГО ГОРЕНИЯ ТЕТРАФТОРИДА КРЕМНИЯ И ГИДРИДА КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНАстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 февраля 2020 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст FG2016_rus..pdf 453,1 КБ 25 сентября 2019 [Mkrtych]