|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Production and Loss of CF2 and CF Radicals at the Polymerization in CF4 Plasmaстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
- Авторы: Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
- Сборник: Proceedings of SPIE: Selected research papers on “Spectroscopy of Non-equilibrium Plasma at Elevated Pressures” ed. by Vladimir N. Ochkin
- Том: 4460
- Год издания: 2002
- Первая страница: 74
- Последняя страница: 89
- DOI: 10.1117/12.459417
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович