|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ЦЭМИ РАН |
||
Рентгеновская дифрактометрия изменений структуры приповерхностных слоев ионноимплантированного кремния после импульсного лазерного отжигастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Бушуев В.А., Петраков А.П.
- Журнал: Письма в "Журнал технической физики"
- Том: 18
- Номер: 8
- Год издания: 1992
- Издательство: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 77
- Последняя страница: 81
- Добавил в систему: Бушуев Владимир Алексеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | PZhTF_1992-188-s77_-_Rentgenovskaya_difraktometriya_posle_l… | 396,7 КБ | 24 мая 2014 [bushuevVA] |